(一)深冷空分法由于空气的液化和精馏是在低温下进行的,而且温度低于-120℃,故称之为深度冷冻空气分离法,简称深冷空分法。此法制氮的基本原理是根据空气棉合物中O2和N2的沸点不同,运用液化、精儅等手段而将它们分离开来。其分离过程大致为;首先,把空气中的机械杂质滤除;然后,把空气压缩到所需的工作压力,脱除空气中的水分、二氣化碳和乙炔等杂质成分,利用热交换使空气液化,通过液化空气的精馏,使之分离并获得不同纯度的氮气和氧气等。用深冷空分法将空气分离为氮气、氧气产品的过程,见图1-2所示。深冷空分法制取的氯气产品,通常叫工业氮,其纯度约在98~99,5%之间,甚至更高。经改进后的制氧机所制得氮气纯度可提高到99,9%以上。深冷空分制氮是一种传统的制氮方法,但其结构复杂、装置庞大,操作麻烦,设备投资和管理费用都比较大,所以它一般用于大规模工业制氮。